VIBRO-METER傳感器對于壓力的測量采用的是壓力芯片，而壓力芯片在可發(fā)生壓力形變的硅膜片上集成的惠斯通電橋。該產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝，其實就是MEMS技術的實際應用，MEMS是建立在微米/納米技術基礎上的21世紀前沿技術，使之對微米/納米材料進行設計、加工、制造和控制的技術。它可將機械構件、光學系統(tǒng)、驅動部件、電控系統(tǒng)、數(shù)字處理系統(tǒng)集成為一個整體單元的微型系統(tǒng)。

　　VIBRO-METER傳感器的結構是氧化鋁膜片與中空的絕緣介質構成一個內部為真空的電容式壓力敏感元件，并連接傳感器混合集成電路。傳感器導入進氣管的壓力后，氧化鋁膜片在進氣壓力的作用下產(chǎn)生變形，使其電容值發(fā)生改變，經(jīng)混合集成電路處理后，輸出與進氣壓力變化相對應的電信號。

　　VIBRO-METER傳感器利用膜片構成一個電容值可變的壓力敏感元件，膜片受力變形時，其電容值相應改變，由傳感器測量電路將與壓力相對應的電容變化轉換為相應的電信號，該產(chǎn)品測量電路主要有頻率檢測式和電壓檢測式兩種。

　　1、頻率檢測式：振蕩電路的振蕩頻率隨壓力敏感元件電容值的大小變化而改變，經(jīng)整流、放大后輸出頻率與壓力相對應的脈沖信號。

　　2、電壓檢測式：壓力敏感元件電容值的大小變化，經(jīng)載波與交流放大電路的調制、檢波電路的解調后，再經(jīng)濾波電路的濾波，輸出與壓力變化相對應的電壓信號。

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